有機廢氣處理中常用的催化一般為蜂窩狀鈀金屬催化劑和鉑金屬催化劑，催化燃燒方式有電加熱和燃氣加熱，燃燒類型有直接催化燃燒和蓄熱式催化燃燒。

　　催化燃燒一般適用于小風量、高濃度、高溫的氣態有機物，且廢氣中不能含有硫、鉛、汞、砷及鹵素等可使催化劑中毒的因子。

　　催化燃燒需要在相應的溫度條件下進行，對于低溫氣體就要進行加熱，風量越大其耗能越大，運行成本也就提高。

　　在確保收集效率的前提下，盡可能降低排風量，這樣既可提升排氣濃度提升廢氣單位熱值，又可降低風量降低能耗。同時也要考慮熱將尾氣中熱量進行回收。

　　有機廢氣一般屬于易燃易爆性氣體，雖然濃度高可以回收利用有機物燃燒產生的部分熱量，降低能耗，但在處理中要將其濃度控制在爆炸限范圍內。在能耗可接受范圍的情況下，小風量一般采用簡易的列管直接熱交換回收熱。